Bước đầu tiên: cần phải tạo ra muối hexaflorovanadat(III) bằng cách sử dụng amoni biflorua:

Bước thứ hai: hexaflorovanadat(III) bị phân hủy bởi nhiệt.

Sự phân hủy nhiệt của muối amoni là một phương pháp tương đối phổ biến để điều chế các hợp chất vô cơ dạng rắn.

VF3 cũng có thể được điều chế bằng cách xử lý V2O3 bằng HF. VF3 là một chất rắn kết tinh với 6 nguyên tử vanađi kết hợp với các nguyên tử flo bắc cầu. Từ tính của nó cho thấy sự hiện diện của hai electron chưa ghép cặp.